| 展出范围 | ||||||
| MEMS 加工设备 | 薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射, 热压)；其他生产设备 | |||||
| 微机械, 微制程技术 | 微纳米模型；纳米压印生产设备超精度纳米机械工艺；超精密加工, 微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等 | |||||
| 分析与检测仪器 | 光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统 | |||||
| 软件建模 | 设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件 | |||||
| MEMS 代工服务 | 仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀 | |||||
| 材料 | 压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料；碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、铁电性材料 | |||||
| 生物技术与医疗应 | MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等 | |||||
| MEMS 器件 | 光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等)；射频MEMS (开关，振荡器，过滤)；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器（灯，泵）；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化) | |||||
| MEMS 应用 | 产品 (麦克风,显示等)；超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集 | |||||
