CHINA MEMS 2015第七届中国国际MEMS技术与应用展览会
同期会议：
2015中国半导体行业协会MEMS分会年会暨MEMS产品与市场对接会
2015中国材料研究学会纳米材料与器件分会学术年会
2015传感器与MEMS技术产业化国际研讨会暨科研成果产品展
产业投融资论坛
专利导航产业发展国际高峰论坛暨纳米企业专利微导航签约仪式
全国第五届柔性与印刷电子大会
（MEMS）即微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems），是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的21世纪前沿技术。随着技术的发展和产业的成熟，MEMS已经作为一种基本加工工艺和制造理念，渗入到高科技领域及产品的方方面面。在消费电子、物联网、石油勘探、开采、环境监测、医疗、生化、汽车工业、航空航天以及国家安全等领域，MEMS具有巨大的市场需求和国产化需要。
作为中国最专业、知名度最高、最权威的CHInano中国国际纳米技术产业博览会，我们一直将MEMS作为整个展出非常重要的一部分。CHInano 2015更是将其作为一个子展览来单独运营招展。CHINA MEMS2014展出取得了极大的成功。专业观众集中在半导体、汽车、电子制造、消费类电子、军工、航空航天、传感器、物联网等多个领域。国际专业观众来自28个国际和地区。全球知名的MEMS应用与代工厂商、设备厂商、MEMS重点实验室专家及科技部863计划微纳制造技术主题专家参加了我们的展出和高层论坛。
2014年11月29日中国半导体行业协会MEMS分会正式成立，并成为MEMS Show展览主办单位。分会将组织下属近200家会员和数百名MEMS领域专家参加MEMS Show展出与论坛。同时，中国半导体行业协会MEMS分会年会也将在展览期间同期举办。
我们期待更多的企业参加我们的展会与论坛，进行同行业间的合作与交流，在展示形象、拓展市场的同时，寻求合作伙伴和发展商机。同时，也希望通过我们的努力使贵公司能够在此届展会与论坛上取得最大的收获！
| MEMS 加工设备 | 薄膜成形（汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片/导线焊接；封装；微成形 (注射, 热压)；其他生产设备 |
| 微机械, 微制程技术 | 微纳米模型；纳米压印生产设备超精度纳米机械工艺；超精密加工, 微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等 |
| 分析与检测仪器 | 光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统 |
| 软件建模 | 设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件 |
| MEMS 代工服务 | 仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀 |
| 材料 | 压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料；碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、铁电性材料 |
| 生物技术与医疗应用 | MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等 |
| MEMS 器件 | 光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等)；射频MEMS (开关，振荡器，过滤)；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器（灯，泵）；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化) |
| MEMS 应用 | 产品 (麦克风,显示等)；超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集 |
